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臭氧在制药行业的应用非常广泛，主要是针对洁净间的灭菌。臭氧发生器的选型和安装工艺是将外置式臭氧发生器通过接管接入HVAC系统的送、回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90%新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1H进行空气灭菌，可替代化学药剂熏蒸及设备表面灭菌需开机2-2.5H。也可在洁净区内使用移动臭氧发生器或者壁挂式臭氧发生器，作局部灭菌消毒。
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